設備產品

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A lot of bottles filled with gas or gasoline are stacked in piles

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Overlay

OL-100n for 8”

-OL-100n has many reference at Korea & China Both.

-It has many reference Data by Devices. (SIC, CIS, SAW, AL, Oxide etc)

– Overlay & CD measurement

OL-900n for 12”

-OL-900n has many reference in Korea & China Both.

-It’s most advanced equipment, and Mass production in Korea.

LDI

此鐳射直接成像設備,採用亞微米級精密驅控平臺、全新一代DMD控制技術以及光學成像設計,融合天准視覺演算法、融合標定、補償演算法等技術,以確保的成像品質、產能及對位精度。適用於剛性板領域的雙面板、多層板、HDI板,以及FPC、IC載板的影像轉移。此LDI鐳射直接成像設備省去菲林步驟,大幅度降 。數位化工藝,杜絕了菲林本身缺陷造成的批量缺陷,減少菲林的開發過程,可縮短產品開發週期。

技術參數 平臺類型:雙檯面

基板尺寸(mm):630×660

極限解析(μm):6

產能:30s/面@20mj/cm²

Chillers

Thermo-electric, Extreme low, Hybrid, Heat exchanger, Compressor

Scrubber

DRY Scrubber Plasma Wet Heat Wet